等离子体源软启动功率控制方法、系统及设备

本发明公开了等离子体源软启动功率控制方法、系统及设备，涉及智能控制技术领域。方法包括：设定射频功率的初始额定值，作为启动时的参考功率；接收等离子体源点火控制器发出的工作模式，识别对应的功率控制配置类型；通过充放电电路产生渐升控制电压，驱动软启动引脚控制PWM脉冲宽度逐步增大，形成与工作模式匹配的激励输入信号；根据反馈功率与模式设定曲线进行比对，获得动态调节修正目标；基于动态调节修正目标进行功率调整控制，使得实际功率上升曲线与模式设定曲线一致。解决了现有技术中等离子体源在启动过程中功率上升控制不稳定，导致点火失败的技术问题，实现了等离子体源功率平滑启动、提高点火成功率及功率控制精度的技术效果。