一种用于ECR离子源的等离子体诊断与脉冲离子束产生的装置及方法

本发明公开了一种用于ECR离子源的等离子体诊断与脉冲离子束产生的装置，包括：离子源磁体，用于提供约束电子的磁场，且离子源磁体的中部沿轴向形成有通孔；等离子体弧腔，插设在离子源磁体的通孔中，且其注入端设置有气体进入口和微波馈入口，引出端设置有束流引出孔；绝缘外筒，设置在离子源磁体与等离子体弧腔之间；脉冲线圈，缠绕在等离子体弧腔外部且可沿轴向平移，脉冲线圈被配置为可形成与离子源磁体的磁场方向相反的磁场来削弱引出磁场峰强度；绝缘内筒，设置在等离子体弧腔与绝缘外筒之间的环形间隙内且可沿轴向平移，绝缘内筒的内端与脉冲线圈连接。本发明既能够提高ECR离子源的等离子体诊断能力，又能够提高ECR离子源引出的脉冲束流强度。