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一种电子器件的焊盘结构及制作方法

발명유효
3조회수
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

胡荣荣; 夏浩; 余瑞麟

IPC 분류

H05K 1/11 (2006.01)H05K 3/40 (2006.01)

一种电子器件的焊盘结构及其制作方法,该焊盘结构包括:磁体;Ti层,形成在所述磁体上;过渡金属层,与所述Ti层具有电位差,形成在所述Ti层上;Au层或Ni/Sn层,形成在所述过渡金属层上;保护膜,同时与所述Ti层、过渡金属层和Au层或Ni/Sn层紧密接触,用于隔绝空气和水分,防止过渡金属/Ti界面分离。增设的保护膜同时与Ti层、过渡金属层及最外层金属紧密接触,有效隔绝空气和水分,防止因原电池反应导致的过渡金属/Ti界面分离和脱落。本发明显著提升了焊盘在空气中的可靠性,适用于片式电感、电容等电子元器件。