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기록

存储器器件及其形成方法

발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

李佳蓁; 朱韦臻; 吴佳典; 谢艮轩; 古舒云

IPC 분류

H10B 10/00 (2023.01)H10D 84/01 (2025.01)H10D 84/83 (2025.01)

存储器器件包括:第一下部外延源极/漏极区域,邻近第二下部外延源极/漏极区域;第一下部栅电极,邻近第一下部外延源极/漏极区域的第一侧;第二下部栅电极,邻近第二下部外延源极/漏极区域的第二侧,其中,第二侧与第一侧相对;介电层,位于第一下部外延源极/漏极区域、第二下部外延源极/漏极区域、第一下部栅电极和第二下部栅电极下方;第一对接接触件,位于介电层内,其中,第一对接接触件将第一下部外延源极/漏极区域电连接至第二下部栅电极;以及第二对接接触件,位于介电层内,其中,第二对接接触件将第二下部外延源极/漏极区域电连接至第一下部栅电极。本申请的实施例还涉及形成存储器器件的方法。