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기록
存储器及其形成方法
발명유효
20청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
吕俊霖; 杨峻华; 陈衍丰
IPC 분류
H10B 12/00 (2023.01)
一种存储器,包含基板和位于基板上方的电容器结构。电容器结构包含底部电极、位于底部电极上方的介电结构和位于介电结构上方的顶部电极。介电结构包含由氧化铪锆(HZO)所制成的第一介电层、位于第一介电层上方,且由氧化铝所制成的阻挡层,以及位于阻挡层上方,且由氧化铪锆所制成的第二介电层,其中第一介电层和第二介电层的其中一者包含第一部分和第二部分,第一部分相邻于阻挡层,并且其中第一部分掺杂硅。具有上述结构的存储器能够实现更高的电容。