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기록

一种基于电镀铜柱体的三维堆叠DRAM封装结构

발명유효
4조회수
4청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

陈迟晓; 黄苏畅; 李博为; 林立宇; 杨程

IPC 분류

H10B 80/00 (2026.01)H10W 70/63 (2026.01)H10W 70/652 (2026.01)H10W 72/20 (2026.01)

本发明属于芯片封装技术领域,具体为一种基于电镀铜柱体的三维堆叠DRAM封装结构。本发明封装结构具体包括底层逻辑芯片、顶层DRAM芯片、第二层DRAM芯片、垂直铜柱互联区域、底层封装体、顶层封装体、第二层封装体、平面互联区域、信号纵向传输路径、C4凸块阵列、微凸块阵列;底层封装体将底层逻辑芯片以及该层的垂直铜柱体、平面金属线互联层塑封在一起,顶层封装体、第二层封装体的作用与底层封装体类似;本发明通过在封装阶段电镀制造的片外铜柱体取代TSV,实现芯片的纵向互联,进而实现具有较低成本,同时具有高可靠性的DRAM三维集成;同时降低了存储器芯片的设计难度,提升系统存储容量,进而提升系统的整体性能。