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기록
一种电容器及其制备方法和应用
발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
卢志高; 王新; 董荷玉; 段成辉; 赵伟利; 王浩然; 曹伟; 胜鹏
IPC 분류
H10D 1/68 (2025.01)H10W 44/00 (2026.01)H10F 77/90 (2025.01)
本发明涉及电子元件技术领域,具体涉及一种电容器及其制备方法和应用。本发明提供的电容器包括具有第一通孔的基板,位于基板下表面的第一金属键合层,位于基板上表面的第一电极层,所述第一电极层的面积小于基板的面积,位于第一电极层表面的第一介质层,围绕第一电极层的第二介质层,位于第一介质层表面的第二电极层,位于所述第二电极层和第二介质层表面的绝缘缓冲层,位于绝缘缓冲层表面的第二金属键合层,位于第二电极层与第二金属键合层之间绝缘缓冲层设置有第二通孔,第一通孔和第二通孔中填充有导电金属,第一介质层和第二介质层的厚度独立地为60~800nm。本发明提供的电容器能够实现小容量和大键合面积,且具有低损耗和高绝缘的特点。