一种大电流高耐压金刚石二极管及其制造方法

本发明涉及一种大电流高耐压金刚石二极管及其制造方法，剖面结构以衬底金刚石（1）为底，基于衬底金刚石（1）上表面局部设置一型掺杂金刚石（2），进一步在一型掺杂金刚石（2）的上表面、以及衬底金刚石（1）上表面布设一型导电沟道（7），然后在一型导电沟道（7）对应一型掺杂金刚石（2）位置区域的局部设置势垒调节层（6），最后设置第一电极（4）、第二电极（5）、以及介质层（3），构成高耐压、大电流密度的金刚石二极管，解决了传统功率金刚石肖特基二极管耐压低、电流密度低等问题，并且提出制造方法，创新设计了制造工艺顺序，降低漏电流和工艺难度，所设计金刚石二极管有效提高了实际工作效率。