太阳电池及制备方法

本申请提供了一种太阳电池及其制备方法，太阳电池包括硅衬底、第一本征非晶硅层、N型掺杂晶硅层、第二本征非晶硅层、P型掺杂晶硅层、第一电极和第二电极；硅衬底具有相对的第一表面和第二表面；第一本征非晶硅层、N型掺杂晶硅层和第一电极依次层叠设于硅衬底的第一表面上；第二本征非晶硅层、P型掺杂晶硅层和第二电极依次层叠设于硅衬底的第二表面上；N型掺杂晶硅层包括从第一本征非晶硅层至第一电极依次层叠设置的第一N型掺杂层、第二N型掺杂层和第三N型掺杂层，第一N型掺杂层中包括氮掺杂元素，第二N型掺杂层中包括碳掺杂元素，第三N型掺杂层中包括氮掺杂元素和碳掺杂元素。本申请的太阳电池具有较高的光电转换效率。