基于微环谐振腔的光电探测器及其制备方法

本发明涉及光电子技术领域，特别涉及一种基于微环谐振腔的高速高响应度的光电探测器及其制备方法，其中，光电探测器包括：外延层结构；波导，采用脊形波导结构刻蚀至外延层结构的N型InP接触层；微环与波导并排放置，且微环与波导之间设有预设间隙宽度，以保持临界耦合状态形成谐振腔，波导与微环靠近处有耦合结构形状设计，以增大耦合长度；电极设于微环外延层结构的顶部和底部，光在整个微环中吸收。由此，解决了传统PIN光电探测器在响应度与带宽之间存在固有权衡矛盾的问题。