基于速度匹配的行波电极光电探测器及其制备方法

本发明涉及光电器件与光通信技术领域，特别涉及一种基于速度匹配的行波电极光电探测器及其制备方法，其中，光电探测器包括：外延层结构；脊形波导，其刻蚀至外延层结构的N型InP覆层；行波电极，其采用共面波导结构，设于脊形波导的上表面和外延层结构的上表面，且行波电极的侧边呈周期慢波线，精确调节其相速度与特性阻抗，从而实现微波与光波的速度匹配、抑制不需要的模式、降低反射并拓展带宽与高频响应；匹配电阻，其设于在光输入端的电极起始处，且垂直沉积至脊形波导中。由此，解决了传统光电探测器无法同时实现高带宽和高饱和输出功率这一长期存在的问题。