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一种图像传感器及其制作方法

발명유효
1조회수
12청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

康绍磊; 胡晓芮

IPC 분류

H10F 39/12 (2025.01)H10F 39/18 (2025.01)

本发明公开一种图像传感器及其制作方法,属于半导体技术领域。图像传感器至少包括:衬底,其内间隔设置第一隔离结构和第二隔离结构;光电二极管,与第一隔离结构间隔设置在衬底内;传输栅极,设置在光电二极管远离第一隔离结构的衬底上;浮动扩散区设置在传输栅极和第二隔离结构之间的衬底内,且第二隔离结构靠近浮动扩散区的一侧的高度低于衬底表面,设置凹槽;源极跟随栅极,与传输栅极间隔设置且覆盖部分第二隔离结构;侧墙结构,设置在传输栅极和源极跟随栅极的四周,传输栅极的侧边到浮动扩散区边缘之间的间距,大于传输栅极的侧边到侧墙结构边缘的距离。通过本发明提供的图像传感器及其制作方法,能够减少成像时的白点现象,减少暗电流。