一种基于薄型超表面的远红外折射率探测器及其制备方法

本发明属于远红外折射率探测器技术领域，特别涉及一种基于薄型超表面的远红外折射率探测器及其制备方法。提供极性电介质衬底与高折射率材料，通过椭偏测试获取两者的介电函数，将所得参数作为输入进行全波数值模拟，构建超表面物理模型，测试待测介质的透射率与复折射率，将PMMA微通道、超表面与待测介质三者装配为一体化器件以开展联测，最终通过椭偏测试获得装配器件在远红外波段的反射光谱。本发明通过新型材料模型与模型优化，实现了远红外波段的入射角不敏感、窄带高吸收以及强近场且高穿透深度的综合性能，从而有效克服传统技术中入射角依赖性强、对体相响应不敏感却易受表面污染/吸附干扰、器件体积与复杂度高以及探测效率低等问题。