光电探测器及其制备方法

本发明提供一种光电探测器及其制备方法，通过设置自P电极接触层表面向内延伸至吸收层内部的微纳孔，以减少光电探测器的结体积，降低结电容，从而在不改变吸收层厚度的情况下有效提升光电探测器的RC限制带宽，保证光电探测器在保持高响应度的同时提升光响应速度；另外，光线入射进入微纳孔中时会产生衍射和光学共振现象，能有效提升光学耦合效率，从而达到高量子效率，进一步提高响应度。