异质结太阳能电池及其制造方法

本申请提供一种异质结太阳能电池及其制造方法。该电池包括：N型衬底，N型衬底具有相对设置的正面和背面；正面电池结构，位于N型衬底正面，包括本征非晶硅钝化层和N型掺杂层；背面电池结构，位于N型衬底背面，包括本征非晶硅钝化层和P型掺杂层；正面导电层，正面导电层覆盖正面电池结构；背面导电层，背面导电层覆盖背面电池结构；其中，正面导电层为透明导电层；背面导电层为复合结构的反射导电层，包括：与P型掺杂层直接接触的无铟导电层、溅射生成于无铟导电层上的金属反射层以及溅射生成于金属反射层上的致密保护层，致密保护层与金属反射层为不同基材的金属薄膜层。本申请降低了电池成本，且提高了电池的电学性能和稳定性。