抗紫外衰减的正面复合钝化减反膜层及其制备方法和应用

本发明涉及光伏技术领域，公开了一种抗紫外衰减的正面复合钝化减反膜层及其制备方法和应用。该正面复合钝化减反膜层，通过从下至上依次设置的氧化铝层、SiCxNy层及氮化硅层的协同配合，且SiCxNy层的C/N原子配比控制在1.0‑3.5：1，SiCxNy层的C/N原子配比从氧化铝层侧至氮化硅层侧呈逐渐增大的梯度变化，SiCxNy层的厚度为5‑20nm；如此，其兼具优异的抗紫外衰减、低太阳光反射率、高可见光透过率、较好的钝化效果和低复合、载流子输运优化等性能，能从根源上有效提升光伏电池的抗紫外衰减性能，有效解决其UV衰减问题，有助于提升光伏电池的开路电压、短路电流密度、填充因子、光电转换效率等电性能。