高反射率AlGaN基分布式布拉格反射镜的制备方法

本公开实施例提供一种高反射率AlGaN基分布式布拉格反射镜的制备方法，包括：在衬底上依次沉积堆叠的AlN层、n‑AlGaN电流扩展层；在n‑AlGaN电流扩展层上交替生长堆叠的多层n‑AlGaN层和多层n‑AlGaN层，得到外延片，多层n‑AlGaN层位于多层n‑AlGaN层之间；在外延片上沉积保护层，去除n‑AlGaN电流扩展层上预设区域的保护层和堆叠式AlGaN结构；将形成有保护层的外延片至于电解液中，并使n‑AlGaN电流扩展层与电源阳极相连，电解液与电源阴极相连；控制外延片在电解液中进行电化学腐蚀或光电化学腐蚀，使n‑AlGaN层内部形成纳米多孔结构；去除剩余的保护层，获得高反射率AlGaN基分布式布拉格反射镜。