一种无机微腔阳极结构

本发明涉及OLED彩色显示技术领域，公开了一种无机微腔阳极结构，包括导电通孔、第一至第三ITO膜、阳极结构A、阳极结构B、阳极结构C、TEOS膜层及沉积柱；基板内部设导电通孔以连接阳极，上表面沉积第一ITO膜；三种阳极结构均位于第一ITO膜上方，其中阳极结构A直接置于第一ITO膜上，阳极结构B与第一ITO膜间设有第二ITO膜，阳极结构C与第一ITO膜间依次设有第二ITO膜和第三ITO膜；三种阳极结构上方沉积TEOS膜层，TEOS膜层上的若干沉积柱与各ITO膜层顶部相连接。本发明有效解决色混缺陷，同时通过微腔结构优化光输出特性，保障显示色纯，可减少光损失，大幅提高器件出射亮度，器件厚度显著降低，还能规避滤光片折射率差异导致的边缘色偏问题。