钙钛矿叠层电池衬底、钙钛矿叠层电池及其制备方法

本申请涉及一种钙钛矿叠层电池衬底、钙钛矿叠层电池及其制备方法，衬底制备方法包括：通过金刚线切割工艺制作晶硅衬底；对晶硅衬底进行前湿化抛光处理，清洁晶硅衬底表面残留，并圆化切割产生的尖锐峰谷，形成前处理表面；对前处理表面进行激光冷抛，采用皮秒/飞秒脉冲激光，以适配表面切割线痕的光斑进行雕饰，降低表面高度差和粗糙度，形成光化学处理表面；对光化学处理表面进行后湿化抛光处理，去除激光熔融层和表面残留并修饰形貌，最终形成活化后的纹理表面。本申请通过干湿结合的制备方法，使金刚线切割硅片被抛光雕饰以适用于钙钛矿叠层电池衬底的大规模产业化生产，降低了衬底和电池的制备成本，提高了生产效率。