一种红外探测器灵敏元结构、制备方法及红外探测器

本发明公开了一种红外探测器灵敏元结构、制备方法及红外探测器，应用于红外探测领域，该红外探测器灵敏元结构包括：第一电极、热释电功能层和第二电极；热释电功能层为聚偏二氟乙烯基共聚物薄膜层，聚偏二氟乙烯基共聚物薄膜层直接吸收红外光；第一电极设置在热释电功能层的一侧表面，第二电极设置在热释电功能层的另一侧表面，且热释电功能层设置有第二电极的表面为红外光入射面；第二电极为单层石墨烯电极；单层石墨烯电极对红外光具有透过性。聚偏二氟乙烯基共聚物薄膜层作为热释电功能层，利用单层石墨烯电极作为红外光入射侧的电极，可降低功能层厚度，并让其直接主导对红外辐射的吸收，从而降低器件热容，提高器件的响应灵敏度和响应速度。