一种石墨烯-钽酸锂晶体管长波红外探测器及其制备方法

本发明属于半导体光电器件工艺技术领域，尤其涉及一种石墨烯‑钽酸锂晶体管长波红外探测器及其制备方法。该红外探测器包括衬底、钽酸锂薄膜、石墨烯层、源金属电极、漏金属电极和钝化层；其中钽酸锂薄膜位于衬底上；源金属电极和漏金属电极设置在所述钽酸锂薄膜上，在源金属电极和漏金属电极之间的钽酸锂薄膜上设置有石墨烯层，在石墨烯层上设置有钝化层。本发明通过在钽酸锂薄膜上引入石墨烯构成铁电场效应晶体管结构，构建了“硅衬底‑钽酸锂薄膜‑石墨烯通道”的垂直异质结构，利用石墨烯的优异导电性和钽酸锂的热释电特性，显著提升探测器的信号读出与放大能力和热释电响应特性，成功制备出具有高灵敏度和快速响应能力的红外探测单元器件。