一种键合晶圆及其制备方法、滤波器

本发明实施例提供一种键合晶圆及其制备方法、滤波器，制备方法包括：提供晶圆衬底，晶圆衬底包括第一衬底表面和第二衬底表面；提供压电层并调整压电层位于第一衬底表面的一侧，压电层包括第一压电表面和第二压电表面；键合压电层和晶圆衬底并制备键合单元；对键合单元的第二压电表面减薄并制备第二压电减薄面，第二压电减薄面包括第一减薄单元和第二减薄单元；对第二压电减薄面抛光并制备第二压电抛光面；其中抛光单元远离第二衬底表面的表面到第二衬底表面的最大距离为h3，抛光单元远离第二衬底表面的表面到第二衬底表面的最小距离为h4，（h3‑h4）≤300纳米。采用本发明实施例提供的制备方法制备的键合晶圆可以提升整体的膜厚均匀性。