约瑟夫森探针的工作温度控制方法及调控Nb膜厚度的方法

本发明公开一种约瑟夫森探针的工作温度控制方法及调控Nb膜厚度的方法，通过调控膜厚参数，控制探针的工作温度，将Nb基探针工作温度提升至7.2 K，创下同类探针最高纪录。本发明的调控Nb膜厚度的方法，选用四槽石英管作为基底，经超声清洗后，采用激光加热法拉制纳米针尖，以获得表面洁净且几何结构可控的针尖结构；将制得的纳米针尖水平固定于探针支架上，采用磁控溅射工艺沉积铌薄膜，控制Nb膜厚度，制备约瑟夫森探针。本发明显著降低了探针对极低温环境的依赖，打破了原有工艺限制，有效拓宽了可用的膜厚范围，显著提高了探针的制备成品率与性能一致性，为近场微波成像和量子传感技术的实用化发展提供了可靠的器件基础。