键合波的测控方法和装置

本发明公开了键合波的测控方法和装置，实现对键合波位置的精准控制，使键合波均匀扩散，提升键合质量。方法包括：卡盘在所有方向上的邻近晶圆中心的第一测距传感器为起始点，先释放第一测距传感器处的真空；在键合波扩散过程中，对各方向上的当前测距传感器到最外侧的测距传感器的所有的实时差值组合成数组；以设定方向为基准方向，分别计算其他所有方向与基准方向的相关性系数；根据相关性系数和基准方向各个测距传感器周边的真空吸附值来计算其他所有方向上的当前测距传感器的真空吸附值；根据真空吸附值调整其他方向上对应吸附点的真空，待键合波到达当前测距传感器位置，释放真空；键合波扩散到下一测距传感器，以下一测距传感器为当前测距传感器返回步骤2，直至对最外侧测距传感器处理完毕。