半导体量测设备

本申请提供了一种半导体量测设备包括腔体、量测部件、工作台以及密封部件。量测部件安装于腔体上并与内部空间连通，负责在真空环境下对物料执行精确量测。工作台至少部分设置于腔体内部，用于承载物料并带动其在腔体的开口位置与量测部件所对应的量测位置之间往复移动，完成物料的送入、定位及移出等操作。密封部件安装于腔体，其具有两种工作状态：当需要维持量测部件所处的局部环境洁净或需破开腔体主体真空时，密封部件可动作以隔断量测部件与腔体主体空间，从而对量测部件形成有效密封保护；当腔体内建立并保持真空环境时，密封部件则与量测部件分离，为量测过程留出通畅的测量路径。