一种晶圆转运装置

本申请公开了一种晶圆转运装置，包括安装座，以及安装于安装座的：手指组件，用于承载晶圆；转运驱动模块，配置为驱动手指组件进行包括相对安装座水平移动和旋转在内的转运动作；调距驱动模块，通过刚性传动机构带动可调指沿竖直方向运动以调节可调指与固定指之间、相邻两可调指之间的间距；控制单元，配置为能够控制转运驱动模块与调距驱动模块单独工作或协同工作，实现晶圆从取料位到放料位的动态转运。驱动件通过刚性传动机构带动可调指实时调节与固定指及相邻可调指的间距，无需暂停转运即可完成从取料位间距到放料位间距的适配，确保多晶圆转运过程的连续性，有效提升整体转运效率。