多规格晶圆盒转换装置及用于多规格晶圆盒装载检测的方法

本发明公开了一种多规格晶圆盒转换装置及用于多规格晶圆盒装载检测的方法，多规格晶圆盒转换装置设置在装载平台上，装载平台上设有用以感应晶圆盒是否装载到位的感应机构。转换装置包括放置在装载平台上的底板，底板远离装载平台的一侧设有晶圆盒定位机构，底板朝向装载平台的一侧设有感应触发机构；当晶圆盒放置到底板上时，感应触发机构能在晶圆盒的自重作用下触发感应机构。本发明的转换装置实现了兼容多规格晶圆盒装载需求的目的，提高了设备利用率，降低生产成本。