减薄晶圆传送盒转换方法

本发明公开了一种减薄晶圆传送盒转换方法，包括减薄晶圆提取运送机构的减薄晶圆夹取机构移动至内装有减薄晶圆的第一减薄晶圆传送盒的正上方，第一举升机构上升接触盒内晶圆；然后继续上升将晶圆经由减薄晶圆夹取机构的两下导壁导向顶升至其两上夹壁之间，然后再由其两中托壁相对朝内旋转托举进入的晶圆，第一举升机构返回至初始位置；减薄晶圆夹取机构水平移至第二减薄晶圆传送盒的正上方，第二举升机构上升接触夹取的减薄晶圆；两中托壁相对朝外旋转松开晶圆，第二举升机构下降将两上夹壁之间的晶圆经由两下导壁导向放置在第二减薄晶圆传送盒内，第二举升机构继续下降返回在初始位置。本发明的方法提高了转送减薄晶圆的稳定性，保障了其成品率。