一种可兼容多尺寸矩形片及圆片的对中装置

本发明提供了一种可兼容多尺寸矩形片及圆片的对中装置，涉及半导体设备技术领域。包括：对中组件、吸附平台以及驱动所述对中组件沿所述吸附平台的中心轴线转动的第一电机；所述吸附平台适于产生吸力以吸附物料；所述对中组件包括支撑架、驱动装置、对称设置在所述吸附平台的中心轴线两侧且连接所述驱动装置的两个对中结构；所述驱动装置适于驱动两个所述对中结构使所述物料的中心轴线移向所述吸附平台的中心轴线；所述第一电机适于驱动所述对中组件转动预设的角度以用于对矩形片进行角向对齐。通过本方案以实现对中装置能适应矩形片与圆片，且结构更加简洁。