一种晶圆预校准器的自动定位机械圆心方法

本申请公开了一种晶圆预校准器的自动定位机械圆心方法，包括对晶圆预校准器进行参数初始化，擦除其原有参数后写入基于产品设计图纸确定的预设参考参数；通过圆心校准工装使待校准晶圆的圆心与晶圆预校准器上吸盘的圆心重合，再通过吸盘吸附待校准晶圆；驱动晶圆预校准器的旋转部件带动吸盘旋转，通过边缘检测部件采集待校准晶圆的边缘数据及旋转部件的旋转角度数据；对采集的边缘数据与旋转角度数据进行处理，根据拟合圆圆心坐标，调控晶圆预校准器的X轴移动部件、Y轴移动部件进行位置调整，将三者重合时的机械圆心位置参数存储至存储介质，供晶圆预校准器后续初始化时调用以驱动吸盘圆心回归机械圆心。能够自动定位机械圆心、无需人工干预。