高精度晶圆对准装置

本发明涉及临时晶圆键合技术领域，具体涉及一种高精度晶圆对准装置，主要解决晶圆对准装置精度较低的技术问题。本装置包括机架、视觉机构、吸附台板、XYZ三轴平台、旋转平台和调节平台，机架包括底座和龙门架，视觉机构安装在龙门架的横梁上方，吸附台板固定于龙门架的横梁下方，XYZ三轴平台安装在底座上且位于龙门架的内侧，旋转平台安装在XYZ三轴平台上，调节平台包括底板、顶板和调平组件，底板固定在旋转平台上，调平组件连接在底板与顶板之间且沿周向间隔分布有多套。本装置一方面能实现下晶圆与上晶圆的位置校准，另一方面能避免因取下、转移以及放置时导致的精度下降，两方面配合能够保证上下晶圆最终被固定时的精度，从而满足工艺需求。