一种晶圆调整装置

本发明公开了一种晶圆调整装置，包括固定架，所述固定架内套装、且固定安装有中间衔接架，所述中间衔接架内套装有调节架，所述调节架的外壁与所述中间衔接架的内壁为球面配合，且所述中间衔接架与所述调节架之间设有气吸式固定结构。在Z轴方向调整时，调节架的端部会与布置在其上方的基准部件进行相抵，在相抵的过程中，通过调节架与中间衔接架的球面配合，调节架会在中间衔接架内进行滑动，直至调节架的端面与基准部件平行，之后通过气吸式固定结构对调节架进行固定。结构简单，平行度调节快速、方便，且调节后的固定可靠、稳定，实现了晶圆所处平面位置调整、并与光刻板保持平行状态的目的，为保证曝光、光刻等工艺效果和产品质量奠定了基础。