防腐蚀静电吸盘

本发明提供了防腐蚀静电吸盘，包括底座，所述底座固定有基板，所述基板上集成有层状的加热单元，所述加热单元上设置有电极，所述电极的顶部设置用于放置吸附物的陶瓷板；所述基板和底座上开设有用于引导陶瓷板表面边缘处液体流出的导流部；刮液组件，所述刮液组件设置在陶瓷板的顶部一侧，且可与陶瓷板搭接，所述刮液组件设置在未装载吸附物时的运行路径上，陶瓷板经过刮液组件底部，刮液组件刮除附着于陶瓷板表面及与陶瓷板表面齐平的其他部位表面的腐蚀性液体。本申请通过导流结构与刮液组件协同作用，实现对腐蚀性液体的有效引导与清除，提升静电吸盘防腐能力与使用可靠性。