一种外延炉装载过程中减少产品报废的工装

本发明公开了一种外延炉装载过程中减少产品报废的工装，涉及到基片加工工装技术领域，其包括中心真空吸盘夹片和抽真空主气管，该工装还包括：基片本体，所述基片本体的顶部吸附在中心真空吸盘夹片的底部，中心真空吸盘夹片的顶部设置有环形斜面；抽真空连接管，所述抽真空连接管的底端固定连通在中心真空吸盘夹片的顶部，抽真空连接管的前侧和后侧均开设有固定卡槽；本发明通过将中心真空吸盘夹片的体积减小，再通过将中心真空吸盘夹片的顶部设置为环形斜面，能够最大程度杜绝中心真空吸盘夹片顶部堆积颗粒，能够避免基片本体和外延片损坏，保证加工质量，同时能够实现对中心真空吸盘夹片的快速拆装，便于维护，实用性强。