针对IGBT晶圆CP测试的多功能探针卡装置、测试系统及测试方法

本申请公开了一种针对IGBT晶圆CP测试的多功能探针卡装置、测试系统及测试方法，包括：一组栅极探针；和一组发射极探针，其包括多根发射极施加信号探针和不少于4根发射极量测信号探针；多根发射极施加信号探针允许通过的总电流比待测IGBT晶圆极限电流大0‑15A。在进行DC静态参数测试或G‑Vramp栅极漏电监控测试时，电源模块向探针卡装置中的部分发射极施加信号探针施加电压；在进行EAS雪崩击穿测试时，电源模块向探针卡装置中的全部发射极施加信号探针施加电压。解决了现有技术中无法使用一张探针卡兼容DC静态参数测试、EAS雪崩击穿测试和G‑Vramp栅极漏电监控测试这三项测试的问题。