红外光学检测系统

本申请涉及晶圆检测技术领域，特别是涉及一种红外光学检测系统。该红外光学检测系统包括照明模块、液膜形成结构、成像模块及控制模块；液膜形成结构设有通光孔及围设于通光孔外周的加液通道和回液通道，通光孔内安装有可透过红外光的透光板。液膜形成结构与蓝膜之间具有间隙，加液通道和回液通道分别用于向间隙输入和回收液体，以在透光板与蓝膜之间形成覆盖成像模块至少部分视场的液膜。控制模块用于控制液膜形成结构和待测晶圆中至少一者在水平面上相对移动，并在液膜形成结构相对移动过程中带动液膜随动，以控制成像模块采集待测晶圆的不同区域图像。本申请提供的红外光学检测系统，能够在待测晶圆的蓝膜处形成稳定的液膜，明显提升检测精度。