晶圆检测机构及晶圆检测设备

本申请涉及晶圆检测技术领域，提供了一种晶圆检测机构及晶圆检测设备。晶圆检测机构包括晶圆载盘、集液槽、移动模组及设于晶圆载盘一侧并间隔布置的光学检测模块和除液结构。光学检测模块至少包括液膜形成结构，液膜形成结构与待测晶圆的蓝膜之间具有间隙，并能够在间隙内形成覆盖光学检测模块至少部分成像视场的液膜。集液槽设于晶圆载盘的外周侧底部。移动模组用于控制晶圆载盘在水平面内相对光学检测模块和除液结构移动，以使这两者择一与晶圆载盘对应。晶圆载盘与光学检测模块在移动模组的作用下相对移动过程中带动液膜随动以对待测晶圆检测。本申请提供的晶圆检测机构，能够更为高效的进行晶圆检测。