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기록
一种半导体三维封装设计方法及系统
발명유효
1조회수
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
何虹运; 李拓; 王晓卫; 丁星池; 勾文哲
IPC 분류
H10W 72/20 (2026.01)G06F 30/20 (2020.01)H10W 90/00 (2026.01)H10D 80/30 (2026.01)H10B 80/00 (2026.01)G06F 113/18 (2020.01)
本发明涉及半导体封装技术领域,公开一种半导体三维封装设计方法及系统,该方法包括:制备至少两个立方体基板,并在每个立方体基板上分别设置重布线层;其中,每个立方体基板上的重布线层用于将对应立方体基板内部导通并延伸至对应立方体基板的外表面;在每个立方体基板的至少一个外表面设置微凸点阵列,并在每个立方体基板的至少一个外表面贴装半导体元器件;通过微凸点阵列将所有立方体基板进行电气互连与机械固定,得到模块化的半导体三维封装结构。本发明能够有效避免堆叠半导体元器件带来的热量集中、信号线长度差异大以及维修成本高等问题,提高了半导体元器件的使用寿命、可靠性和维修便捷性。