分体式全自动临时晶圆键合机

本发明涉及临时晶圆键合技术领域，具体涉及一种分体式全自动临时晶圆键合机，主要解决现有技术中缺乏全自动的临时晶圆键合机的技术问题。本机器包括在左右方向上依次设置的上料腔体、对准腔体、搬运腔体和键合腔体，上料腔体远离对准腔体的一侧设有至少两个装载台，装载台用以安装晶圆卡塞盒，上料腔体内还设有预对准装置和晶圆搬运机器人，对准腔体内设有沿前后方向分布的卡盘存储架、冷却站分离装置和对准装置，搬运腔体内设有卡盘搬运机器人，键合腔体内设有沿前后方向分布的多个键合装置。本机器通过结构布局并配合搬运机器人，能够实现晶圆和卡盘的自动转移，从而配合各加工装置能实现全自动化的临时晶圆键合操作。