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기록

多晶硅的输送装置以及多晶硅的输送方法

발명유효
7청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

植杉真也; 神崎正大; 每熊龙造

IPC 분류

B65G 47/14 (2006.01)

本发明通过利用传感器高精度地检测多晶硅,从而可靠地将作为送出对象的多晶硅送出至输送部外部。一种多晶硅的输送装置(1),其具备:输送部(30),输送部(30)具有将多晶硅(S)送出的送出端部(31),并且输送多晶硅(S)以将多晶硅(S)从送出端部(31)送出至外部;第1传感器(12),第1传感器(12)在输送部(30)上方从多个方向检测多晶硅(S);以及控制部(20),控制部(20)基于第1传感器(12)对多晶硅(S)的检测结果,控制对输送部(30)的驱动。