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기록
坩埚装置和具备该坩埚装置的蒸镀装置
발명유효
24청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
二星学; 犬冢真博; 江角真一; 铃木英幸; 前田洋明; 山本圭亮; 早川冬马; 细田胜也; 江上明史; 田中克育; 羽立良幸
IPC 분류
C23C 14/24 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)
一种坩埚装置（1），具备：主体部（2），其具有收纳蒸镀材料（8）的内部空间（2a）；罩部（4），其设置在所述主体部（2）的端部（2b）；以及遮蔽板（5a～5e），其以与所述主体部（2）的深度方向交叉的方式安装于所述罩部（4）。