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기록
电阻体遮罩、镀覆装置以及镀覆方法
발명유효
11청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
富田正辉
IPC 분류
C25D 17/10 (2006.01)
本发明根据基板上的晶片的配置图案来适当地遮蔽非图案区域。一种电阻体遮罩,用于在镀覆装置中配置在基板与阳极之间并具有两个四边形重叠而成的十字形的图案区域的电阻体,其中,具备:与上述两个四边形中的一个四边形的各角部对应设置的第一遮罩片~第四遮罩片;和相对于从上述一个四边形的相互对置的两边的各边向外侧延伸的一对突出部分分别设置的第五遮罩片及第六遮罩片。