罩式炉

本发明涉及一种罩式炉（1），所述罩式炉包括底座（3）和工艺罩（2），所述工艺罩（2）能设置在所述底座（3）上，以构造用于要处理的至少一个对象的工艺腔（6），并且所述工艺罩（2）直接连接到所述工艺腔（6）上地设置，以及所述罩式炉具有用于给所述至少一个对象调温的加热装置（13），其特征在于，所述工艺罩（2）具有内壳（9），所述内壳（9）在外表面上至少局部由隔热部（10）包围，或者所述隔热部（10）直接连接到所述工艺腔（6）上地设置。