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기록
光谱角度计量
발명유효
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§ Ⅰ
개요
발명자
A·玛纳森; K·彼得林茨; A·V·希尔; S·克里许南; Y·瓦克宁; I·多列夫; S·加内桑; C·张; J·基姆; D·津达尔斯
IPC 분류
G01J 3/02 (2006.01)G01J 3/28 (2006.01)G01B 11/00 (2006.01)G01N 21/25 (2006.01)G01N 21/47 (2006.01)
一种计量系统可包含:双频率梳源,其提供具有第一重复率的第一梳光束及具有第二重复率的第二梳光束;分束器,其用以从所述第一梳光束及所述第二梳光束产生一或多个双频率梳照明光束;及光束组合器,其用以从所述第一梳光束及所述第二梳光束形成双频率梳照明光束。所述系统可进一步包含:照明子系统,其用以通过物镜用所述双频率梳照明光束照明样本;集光子系统,其用以用所述物镜收集来自所述样本的样本光;及检测器,其用以基于所述样本光捕捉射频信号。所述系统可进一步从所述射频信号提取与所述样本相关联的光谱测量数据,且基于所述光谱测量数据产生计量测量。