用于高效X光散射测量的基于前向库的选种

本文中描述用于以经减少计算工作量执行半导体结构的基于X光模型的散射测量的方法及系统。更具体来说，将经测量检测器图像数据变换为衍射级效率数据。比较经测量衍射级效率数据与包含经模拟衍射级效率数据及相关联样品参数值组的参数效率库。基于所述经测量衍射级效率数据与经模拟衍射级效率数据之间的拟合，选择一或多组样品参数值作为用于对所述经测量检测器图像数据的回归的种子值。提供所述种子值作为用于所述回归的第一迭代的一或多个所关注参数的初始值。所述种子值使基于图像的回归能够以大幅减少的数目个迭代收敛到全局最小值。因此，以较少计算工作量实现复杂半导体结构的准确X光散射测量。