被测装置的快速检验

一种用来测试被测装置(DUT)的一批各个装置的示例方法使用具有探针的测试工具，并且包括：在所述探针保持和所述DUT物理接触的同时，按顺序测试多重多个各个装置，所述按顺序测试通过在维持所述探针与所述DUT之间的物理接触的同时，移动所述探针和/或所述DUT来实现，其中对于各连续多个各个装置，所述移动使所述探针(i)和一组与所述多个各个装置相关联的触点并行电接触以驱动所述多个各个装置的并行电激励，然后(ii)脱离和所述一组触点的电接触。另一个示例方法将电源电耦合到位于DUT的第一侧的探针和位于所述DUT的第二侧的导电表面，然后通过相对于所述导电表面对所述探针施加交流电压来可控地电激励多个各个装置。