用于AG镜封装的方法

本公开内容提供了一种方法，包括在波导上方沉积镜，所述波导具有输入耦合器和输出耦合器。封装层沉积在镜上方。抗蚀剂形成在所述输入耦合器上方，从而暴露所述封装层的在非输入耦合器区域上方的残余封装部分。去除所述封装层的所述残余封装部分，从而暴露所述镜的在所述非输入耦合器区域上方的残余镜部分。去除所述输入耦合器的所述镜的所述残余镜部分，从而暴露所述波导的所述非输入区域。去除在所述输入耦合器上方的所述抗蚀剂，其中所述波导具有仅在所述输入耦合器上方的所述镜，并且所述封装层仅在所述镜上方。