使用通过DC磁场调制的等离子体加工衬底

一种用于对衬底进行等离子体加工的方法，其中，该方法包括在等离子体室中生成等离子体，该衬底在加工期间固持在该等离子体室内，其中，生成该等离子体包括：使放电气体流过该等离子体室；将射频（RF）源信号耦合到第一RF电极，其中，该耦合使该放电气体离子化；以及将偏置信号耦合到第二RF电极，该偏置信号是一系列周期性偏置脉冲，每个周期具有偏置接通时间和偏置关断时间，其中，在该偏置接通时间期间施加偏置电压波形；通过将磁化信号耦合到电磁体来在该等离子体室中产生脉冲DC磁场，该磁化信号是一系列周期性电流脉冲；以及在耦合该磁化信号之前，使该系列周期性电流脉冲与该偏置信号同步以使DC磁化电流在该偏置接通时间期间流动。