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기록
电极形成方法
발명유효
14청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
金英云; 李敏揆; 金铉旻; 吕昇珉; 黄喆周
IPC 분류
H10N 97/00 (2023.01)H10P 14/42 (2026.01)C23C 16/06 (2006.01)C23C 16/02 (2006.01)C23C 16/455 (2006.01)C23C 16/56 (2006.01)
公开了一种电极形成方法，用于在基板上形成包含铜和钌的电极，包括：通过使用含钌前驱体进行钌层形成循环N次（N为自然数）来形成钌层，以及通过使用含铜前驱体进行铜层形成循环M次（M为自然数）来在钌层上形成铜层。