基板接合装置

基板接合装置1具有：等离子体处理单元2p；负载锁定室12，被搬入应在等离子体处理单元2p处理的基板W；解除负载锁定室14，被搬入已经被等离子体处理单元2p处理过的基板W；第二搬运室13；真空泵；第二搬运机器人R2，将基板W从负载锁定室12经由第二搬运室13搬运至等离子体处理单元2p，并将基板W从等离子体处理单元2p经由第二搬运室13搬运至解除负载锁定室14；清洗单元2c，在俯视观察时相对于第二搬运室13配置在与解除负载锁定室14相同的一侧，用于清洗从解除负载锁定室14搬出的基板W；以及接合单元2b，接合已经被清洗单元2c清洗过的两片基板W。